概要

在波長分散式X射線螢光光譜分析儀(WDXRF)分析中，通常會使用氦氣，對液體和一些粉末樣品進行測量，而其他的則會使用真空進行測量。然而，由於全球氦氣短缺，導致價格昂貴且交貨時間長，使得使用氦氣分析變得困難。起初，桌上型WDXF分析儀 Supermini200在測量樣品時，樣品室和光學實驗室都不是真空或是充滿氦氣的。Rigaku為Supermini200開發一個新的功能，在沒有氦氣的情況下，對所有型態的樣品，包含固體、粉末和液體，進行測量。本文將詳細敘述，Supermini200在空氣/真空環境下的測量方法，並介紹實際分析案例。

1. 介紹

近期，由於產量減少和需求增加，氦氣在全球範圍內供應短缺。因為供應量仍較低，導致近年來價格上漲。一般來說，WDXRF 光譜儀會在真空環境中，利用從樣品到偵測器的光程來測量樣品。然而，液體樣品無法置於真空的環境中，因此普遍在一個具有X射線高穿透力的惰性氣體—氦氣中測量。此外，當以散粉末法分析一些細粉末而不造粒時，樣品會在氦氣環境下測量，因為當樣品室抽真空和/或通風時細粒顆粒很容易散落。液體樣品是 X 光螢光分析中最常用的測量材料之一，由於氦氣供應的不確定性，人們擔心可能難以繼續進行此類分析。

為了解決這個問題，我們為桌上型 WDXRF 光譜儀 Supermini200 開發了一種新系統，可在空氣環境中測量樣品，同時將光學室保持在真空下。實現了對無法在真空環境中進行檢測的樣品測量，且無須使用氦氣。本文介紹了Supermini200測量空氣/真空氣氛的特點，並給出了分析實例。